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文献
J-GLOBAL ID：200902146423324526
整理番号：94A0233596
表面波維持アルゴンプラズマの電子の運動力学への励起原子の影響
On the influence of excited atoms on the electron kinetics of a surface wave sustained argon plasma.
BOEHLE A
(Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
KORTSHAGEN U
(Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名：
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻： 3 号： 1 ページ： 80-87 発行年： 1994年02月
JST資料番号： W0479A ISSN： 0963-0252 CODEN： PSTEEU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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