文献
J-GLOBAL ID:200902146464108862
整理番号:01A0334034
極端紫外線多層干渉コーティングのためのキャップ層
Capping layers for extreme-ultraviolet multilayer interference coatings.
著者 (2件):
SINGH M
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
BRAAT J J M
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名:
Optics Letters
(Optics Letters)
巻:
26
号:
5
ページ:
259-261
発行年:
2001年03月01日
JST資料番号:
H0690A
ISSN:
0146-9592
CODEN:
OPLEDP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)