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文献
J-GLOBAL ID：200902146734176253
整理番号：01A0017379
VHF両端自由はり高Qマイクロ振動子
VHF Free-Free Beam High-Q Micromechanical Resonators.
WANG K
(Univ. Michigan at Ann Arbor, MI, USA)
,
WONG A-C
(Univ. Michigan at Ann Arbor, MI, USA)
,
NGUYEN C T-C
(Univ. Michigan at Ann Arbor, MI, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 9 号： 3 ページ： 347-360 発行年： 2000年09月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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