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文献
J-GLOBAL ID：200902147167969960
整理番号：99A0927941
ピエゾ抵抗の検出と電磁気の励起によるシリコンのマイクロマシニングしたジャイロスコープの改良設計
Improved Design of a Silicon Micromachined Gyroscope with Piezoresistive Detection and Electromagnetic Excitation.
GR<span style=text-decoration:overline> ́E</span>TILLAT F
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, CHE)
,
GR<span style=text-decoration:overline> ́E</span>TILLAT M-A
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, CHE)
,
DE ROOIJ N F
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>^a</span>tel, CHE)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 8 号： 3 ページ： 243-250 発行年： 1999年09月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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