文献
J-GLOBAL ID:200902147448895737
整理番号:95A0140981
Si表面における熱分解したSiCl2H2の自己制限吸着
Self-limiting adsorption fo thermally cracked SiCl2H2 on Si surfaces.
著者 (2件):
SASAOKA C
(NEC Corp., Ibaraki, JPN)
,
USUI A
(NEC Corp., Ibaraki, JPN)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
82/83
ページ:
348-353
発行年:
1994年12月
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)