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文献
J-GLOBAL ID：200902147481417379
整理番号：02A0847371
局在電子ビーム化学蒸着法によるダイヤモンド薄膜の微細加工
Microfabrication of diamond films by localized electron beam chemical vapour deposition.
KIYOHARA S
(Tokyo Univ. Sci., Yamaguchi, JPN)
,
TAKAMATSU H
(Tokyo Univ. Sci., Yamaguchi, JPN)
,
MORI K
(Tokyo Univ. Sci., Yamaguchi, JPN)
資料名：
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻： 17 号： 10 ページ： 1096-1100 発行年： 2002年10月
JST資料番号： E0503B ISSN： 0268-1242 CODEN： SSTEET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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