文献
J-GLOBAL ID:200902147530158600
整理番号:93A0575780
Seamless Application of Rapid Thermal Processing in Manufacturing.
著者 (1件):
NAKOS J S
(IBM Technology Products, Vermont, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1804
ページ:
24-33
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)