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文献
J-GLOBAL ID：200902147661565848
整理番号：97A0951163
粗微動連動制御機構による表面粗さ測定に関する研究 装置の構成と2,3の測定結果
Study on a Stylus Profiling Instrument Based on a Fine and Coarse Dual-Servo Mechanism. Measuring Principle and a Few Measurement Results.
熊田毅史
(山武ハネウエル)
,
三井公之
(慶応大 理工)
,
中嶋和雄
(東京精密)
,
生田目英幸
(東京精密)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 63 号： 10 ページ： 1439-1443 発行年： 1997年10月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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