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文献
J-GLOBAL ID：200902147680300421
整理番号：94A0651707
スパッタTiO2薄膜の湿度感度
Humidity sensitivity of sputtered TiO2 thin films.
BEARZOTTI A
(National Research Council of Italy, CNR, Rome, ITA)
,
BIANCO A
(Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA)
,
MONTESPERELLI G
(Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA)
,
TRAVERSA E
(Univ. Rome ‘Tor Vergata’, Rome, ITA)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 19 号： 1/3 ページ： 525-528 発行年： 1994年04月
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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