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文献
J-GLOBAL ID：200902148070388145
整理番号：94A0540255
n型6H炭化シリコン上に成長した熱酸化物の電気的特性
Electrical properties of thermal oxide grown on n-type 6H-silicon carbide.
ALOK D
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
MCLARTY P K
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
BALIGA B J
(North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 64 号： 21 ページ： 2845-2846 発行年： 1994年05月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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