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文献
J-GLOBAL ID:200902148241676900   整理番号:94A0129178

デバイス品質のSiO2/Si界面形成における熱緩和現象

Thermal Relaxation Phenomena in the Formation of Device-Quality SiO2/Si Interfaces.
著者 (7件):
LUCOVSKY G
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
BJORKMAN C H
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
YASUDA T
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
EMMERICHS U
(Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule, Aachen, DEU)
MEYER C
(Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule, Aachen, DEU)
LEO K
(Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule, Aachen, DEU)
KURZ H
(Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule, Aachen, DEU)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 32  号: 12B  ページ: 6196-6199  発行年: 1993年12月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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