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文献
J-GLOBAL ID：200902148258352792
整理番号：00A0582754
シリコンのマイクロマシニングによる超音波変換器
Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers.
KHURI-YAKUB B T
(Stanford Univ., CA, USA)
,
CHENG C-H
(Stanford Univ., CA, USA)
,
DEGERTEKIN F-L
(Stanford Univ., CA, USA)
,
ERGUN S
(Stanford Univ., CA, USA)
,
HANSEN S
(Stanford Univ., CA, USA)
,
JIN X-C
(Stanford Univ., CA, USA)
,
ORALKAN O
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39 号： 5B ページ： 2883-2887 発行年： 2000年05月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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