文献
J-GLOBAL ID:200902148791841371
整理番号:94A0331958
半導体ウエハのその場音響温度トモグラフィー
In situ acoustic temperature tomography of semiconductor wafers.
著者 (4件):
DEGERTEKIN F L
(Stanford Univ., California)
,
PEI J
(Stanford Univ., California)
,
KHURI-YAKUB B T
(Stanford Univ., California)
,
SARASWAT K C
(Stanford Univ., California)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
64
号:
11
ページ:
1338-1340
発行年:
1994年03月14日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)