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文献
J-GLOBAL ID：200902148816415437
整理番号：93A0740215
炭化水素薄膜の成長と構造に及ぼすイオンエネルギーの効果
Influence of the ion energy on the growth and structure of thin hydrocarbon films.
REINKE P
(Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Garching bei Muenchen, DEU)
,
JACOB W
(Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Garching bei Muenchen, DEU)
,
MOELLER W
(Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Garching bei Muenchen, DEU)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 74 号： 2 ページ： 1354-1361 発行年： 1993年07月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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