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文献
J-GLOBAL ID：200902148827511357
整理番号：96A0609339
Silicon-Based Microelectrodes for Neurophysiology Fabricated Using a Gold Metallization/Nitride Passivation System.
ENSELL G
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
,
BANKS D J
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
EWINS D J
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
BALACHANDRAN W
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
RICHARDS P R
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 5 号： 2 ページ： 117-121 発行年： 1996年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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