文献
J-GLOBAL ID:200902148959469600
整理番号:93A0404672
高線量注入による埋没鉄-コバルト-けい化物層の形成
Formation of buried iron-cobalt-silicide layers by high dose implantation.
著者 (5件):
PANKNIN D
(Research Center Rossendorf Inc., Dresden, DEU)
,
WIESER E
(Research Center Rossendorf Inc., Dresden, DEU)
,
SKORUPA W
(Research Center Rossendorf Inc., Dresden, DEU)
,
VOEHSE H
(Inst. Fresenius Dresden, Dresden, DEU)
,
ALBRECHT J
(Inst. Fresenius Dresden, Dresden, DEU)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
74
号:
1/2
ページ:
213-217
発行年:
1993年04月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)