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J-GLOBAL ID：200902148965282830 整理番号：96A0739279

銅の化学的機械的研磨のためのアルミナスラリーの安定化

Stabilization of Alumina Slurry for Chemical-Mechanical Polishing of Copper.

著者 (3件)：

LUO Q

(Clarkson Univ., New York)

CAMPBELL D R

(Clarkson Univ., New York)

BABU S V

(Clarkson Univ., New York)

資料名：

Langmuir (Langmuir)

巻： 12 号： 15 ページ： 3563-3566 発行年： 1996年07月24日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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