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文献
J-GLOBAL ID：200902149123462942
整理番号：96A0656415
その場ガスサンプリングによる低圧有機金属化学蒸着装置におけるトリメチルガリウム-モニメチルヒドラジンのガス反応に関する質量分析研究
Mass-spectrometric study of gas reaction of trimethylgallium-monomethylhydrazine in a low-pressure metalorganic chemical vapor deposition apparatus by in-situ gas sampling.
ISHII M
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
MINAMI T
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
MIYATA T
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
KARAKI S
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
TAKATA S
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
資料名：
Institute of Physics Conference Series
(Institute of Physics Conference Series)
号： 142 ページ： 899-902 発行年： 1996年
JST資料番号： E0403B ISSN： 0305-2346 CODEN： IPHSAC 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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