文献
J-GLOBAL ID:200902149323550560
整理番号:94A0124171
Resist Materials Design: Base-catalyzed Chemical Amplification.
著者 (7件):
WILLSON C G
(IBM Research Division, CA)
,
CAMERON J F
(IBM Research Division, CA)
,
MACDONALD S A
(IBM Research Division, CA)
,
NIESERT C-P
(IBM Research Division, CA)
,
FRECHET J M J
(Cornell Univ., NY)
,
LEUNG M K
(Cornell Univ., NY)
,
ACKMAN A
(Cornell Univ., NY)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1925
ページ:
354-365
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)