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文献
J-GLOBAL ID：200902149328305661
整理番号：94A0028471
n型シリコンエピ層の四探針抵抗率経時変化の調査 安定した四探針測定法の提案
Investigation of Time-Dependent Four-Point-Probe(4PP) Resistivity on N-Type Silicon Epitaxial Wafers.
三谷清
(信越半導体)
,
斉須重徳
(信越半導体)
,
片山正健
(信越半導体)
資料名：
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
(Proceedings of the Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology)
巻： 45th ページ： 106-111 発行年： 1993年12月
JST資料番号： F0108B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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