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文献
J-GLOBAL ID：200902149387042828
整理番号：00A0154363
p+薄膜と金バックプレートを使う高感度音響変換器
High sensitivity acoustic transducers with thin p+ membranes and gold back-plate.
KABIR A E
(National Semiconductor, CA, USA)
,
BASHIR R
(Purdue Univ., IN, USA)
,
BERNSTEIN J
(Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
,
DE SANTIS J
(National Semiconductor, CA, USA)
,
MATHEWS R
(National Semiconductor, CA, USA)
,
O’BOYLE J O
(National Semiconductor, CA, USA)
,
BRACKEN C
(National Semiconductor, CA, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A78 号： 2/3 ページ： 138-142 発行年： 1999年12月14日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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