文献
J-GLOBAL ID:200902149427415665
整理番号:97A0945182
新しい方法を用いたワイヤイオンプラズマ源の高繰り返し率運転
High-repetition-rate operation of the wire ion plasma source using a novel method.
著者 (7件):
URAI H
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
KUROSAWA T
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
OKINO A
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
HOTTA E
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
YASUI H
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
TAMAGAWA T
(TOSHIBA Corp., Kawasaki, JPN)
,
KO K-C
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
68
号:
9
ページ:
3346-3350
発行年:
1997年09月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)