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文献
J-GLOBAL ID：200902149904155964
整理番号：98A0445996
β-SiC中の不純物拡散
Impurity Diffusion in β-SIC.
TAKANO K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAMADA K
(Hakodate National Coll. Technol., Hakodate, JPN)
,
IIJIMA Y
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Thermophysical Properties
(Thermophysical Properties)
巻： 18th ページ： 189-192 発行年： 1997年
JST資料番号： X0031A ISSN： 0911-1743 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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