文献
J-GLOBAL ID:200902150039784339
整理番号:93A0943290
反応性プラズマ生成のための高パワーマイクロ波窓
High-Power Microwave Window for Reactive Plasma Production.
著者 (2件):
SAKAMOTO Y
(Nichimen Electronic Technology Corp., Kawagoe)
,
KOKAI H
(Toyo Univ., Kawagoe)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
9A
ページ:
3985-3986
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)