文献
J-GLOBAL ID:200902150094534643
整理番号:98A0868513
ITO-金属-ITO多層膜の光学的,電気的特性の膜の組成と厚さへの依存性
Dependence of film composition and thicknesses on optical and electrical properties of ITO-metal-ITO multilayers.
著者 (6件):
BENDER M
(TU Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
SEELIG W
(TU Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
DAUBE C
(Balzers Prozess-Systeme GmbH, Alzenau, DEU)
,
FRANKENBERGER H
(Balzers Prozess-Systeme GmbH, Alzenau, DEU)
,
OCKER B
(Balzers Prozess-Systeme GmbH, Alzenau, DEU)
,
STOLLENWERK J
(Balzers Prozess-Systeme GmbH, Alzenau, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
326
号:
1/2
ページ:
67-71
発行年:
1998年08月04日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)