文献
J-GLOBAL ID:200902150398198046
整理番号:99A0075165
純粋なメタンとシランの混合体から作製したSi:C:H合金ホットワイヤ蒸着膜におけるミクロ結晶相の形成
Micro-crystalline phase formation in hot wire deposited Si:C:H alloy films from pure methane and silane mixtures.
著者 (4件):
KUMBHAR A A
(Indian Inst. Technol., Bombay, IND)
,
DUSANE R O
(Indian Inst. Technol., Bombay, IND)
,
BAUER S
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
SCHROEDER B
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
資料名:
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻:
227/230
号:
Pt.A
ページ:
452-455
発行年:
1998年05月
JST資料番号:
D0642A
ISSN:
0022-3093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)