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文献
J-GLOBAL ID：200902150495349385
整理番号：95A0106512
Investigation of stress-induced birefringence in large semiconductor wafers by imaging polarimetry.
BAJOR A L
(Inst. Electronic Materials Technology, Warszawa, POL)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2265 ページ： 431-442 発行年： 1994年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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