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文献
J-GLOBAL ID：200902150513193800
整理番号：94A0036237
薄膜沈着のためのエーロゾル反応器とClをドープしたZnS薄膜への応用
Aerosol reactors for thin film deposition and their application of ZnS:Cl doped films.
MARTIN F J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
ALBERS H
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
LAMBECK P V
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
POPMA T J A
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名：
Journal of Aerosol Science
(Journal of Aerosol Science)
巻： 24 号： Suppl 1 ページ： S321-S322 発行年： 1993年
JST資料番号： D0776A ISSN： 0021-8502 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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