文献
J-GLOBAL ID:200902150542425451
整理番号:00A0060312
ウエハ融解による半導体フォトニックバンドギャップのアラインメントと積重ね
Alignment and Stacking of Semiconductor Photonic Bandgaps by Wafer-Fusion.
著者 (5件):
NODA S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
YAMAMOTO N
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
IMADA M
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KOBAYASHI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
OKANO M
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Journal of Lightwave Technology
(Journal of Lightwave Technology)
巻:
17
号:
11
ページ:
1948-1955
発行年:
1999年11月
JST資料番号:
H0922A
ISSN:
0733-8724
CODEN:
JLTEDG
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)