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文献
J-GLOBAL ID:200902150542425451   整理番号:00A0060312

ウエハ融解による半導体フォトニックバンドギャップのアラインメントと積重ね

Alignment and Stacking of Semiconductor Photonic Bandgaps by Wafer-Fusion.
著者 (5件):
NODA S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
YAMAMOTO N
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
IMADA M
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
KOBAYASHI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
OKANO M
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)

資料名:
Journal of Lightwave Technology  (Journal of Lightwave Technology)

巻: 17  号: 11  ページ: 1948-1955  発行年: 1999年11月 
JST資料番号: H0922A  ISSN: 0733-8724  CODEN: JLTEDG  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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