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文献
J-GLOBAL ID:200902150643447642   整理番号:94A0780194

Automated optical proximity correction-a rules-based approach.

著者 (9件):
OTTO O W
(SEMATECH, TX)
GAROFALO J G
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
LOW K K
(AT&T Bell Lab., NJ)
YUAN C-M
(AT&T Bell Lab., NJ)
HENDERSON R C
(SEMATECH, TX)
PIERRAT C
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
KOSTELAK R L
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
VAIDYA S
(Trans Vector Technologies Inc., CA)
VASUDEV P K
(AT&T Bell Lab., NJ)

資料名:
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

巻: 2197  ページ: 278-293  発行年: 1994年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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