文献
J-GLOBAL ID:200902150668164432
整理番号:94A0129197
トレンチ構造に対する走査型電子顕微鏡像のシミュレーション
Simulation of Scanning Electron Microscope Image for Trench Structures.
著者 (4件):
KOTERA M
(Osaka Inst. Technology, Osaka)
,
YAMAGUCHI S
(Osaka Inst. Technology, Osaka)
,
UMEGAKI S
(Osaka Inst. Technology, Osaka)
,
SUGA H
(Osaka Inst. Technology, Osaka)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
12B
ページ:
6281-6286
発行年:
1993年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)