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文献
J-GLOBAL ID：200902151034236046
整理番号：00A0413136
XeCl(308nm)パルスレーザアブレーションによる水素フリーDLCの薄膜蒸着実験
Experimental Study of Hydrogen-free DLC film Deposition by XeCl(308nm) pulsed laser ablation.
LI T-J
(Northwest Inst. Nuclear Technol., Xi’an, CHN)
,
LIU J-R
(Northwest Inst. Nuclear Technol., Xi’an, CHN)
,
WANG L-G
(Northwest Inst. Nuclear Technol., Xi’an, CHN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3885 ページ： 323-330 発行年： 2000年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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