文献
J-GLOBAL ID:200902151034923418
整理番号:01A0087817
プラズマスパッタリングによる長く狭いチューブの内壁被覆
Inner coating of long-narrow tube by plasma sputtering.
著者 (1件):
FUJIYAMA H
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
131
号:
1/3
ページ:
278-283
発行年:
2000年09月01日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)