文献
J-GLOBAL ID:200902151232519932
整理番号:94A0762848
UVリソグラフィーと電着による3Dの多方向傾斜構造の微細製作
Microfabrication of 3D Multidirectional Inclined Structures by UV Lithography and Electroplating.
著者 (5件):
BEURET C
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
RACINE G-A
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
GOBET J
(Swiss Centre for Electronics and Microtechnology, Inc., Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
LUTHIER R
(Asulab S.A., Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
DE ROOIJ N F
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
7th
ページ:
81-85
発行年:
1994年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)