文献
J-GLOBAL ID:200902151312042169
整理番号:93A0397633
マイクロマシニングのための光電子誘導選択的陽極化成
Photo-Induced Preferential Anodization for Micromachining.
著者 (3件):
YOSHIDA T
(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)
,
KUDO T
(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)
,
IKEDA K
(Yokogawa Electric Corp., Tokyo, JPN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
4
号:
5
ページ:
229-238
発行年:
1993年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)