文献
J-GLOBAL ID:200902151919541970
整理番号:93A0603910
表面のp-偏光反射測定による成長中の非晶質けい素膜の光学定数のその場決定
In situ determination of optical constants of growing hydrogenated amorphous silicon film by p-polarized light reflectance measurement on the surface.
著者 (3件):
TAKANO A
(Tokyo Inst. Technology, Kanagawa, JPN)
,
KAWASAKI M
(Tokyo Inst. Technology, Kanagawa, JPN)
,
KOINUMA H
(Tokyo Inst. Technology, Kanagawa, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
73
号:
11
ページ:
7987-7989
発行年:
1993年06月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)