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文献
J-GLOBAL ID：200902152049407684
整理番号：01A0404130
イオンビーム支援堆積法で作製したTiN薄膜の優先配向の変化
Variation in Preferred Orientations of TiN Thin Films Prepared by Ion Beam Assisted Deposition.
MATSUMURO A
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
HAYASHI T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
MURAMATSU M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKAHASHI Y
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
KOHZAKI M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
YAMAGUCHI K
(Mie Univ., Tsu, JPN)
資料名：
Materials Science Research International
(Materials Science Research International)
巻： 7 号： 1 ページ： 1-6 発行年： 2001年03月15日
JST資料番号： L2329A ISSN： 1341-1683 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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