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文献
J-GLOBAL ID：200902152189890857
整理番号：98A0657669
Si上のSiO2超薄膜における重水素の核反応分析
Nuclear reaction analysis of deuterium in ultrathin films of SiO2 on Si.
BAUMVOL I J R
(Univ. Federal do Rio Grande do Sul, RS, BRA)
,
STEDILE F C
(UFRGS Av. Bento Goncalves, Porto Alegre, BRA)
,
RADTKE C
(UFRGS Av. Bento Goncalves, Porto Alegre, BRA)
,
FREIRE F L JR
(PUC-Rio, Rio de Janeiro, BRA)
,
GUSEV E
(Rutgers Univ., NJ, USA)
,
GREEN M L
(Bell Lab. Lucent Technol., NJ, USA)
,
BRASEN D
(Bell Lab. Lucent Technol., NJ, USA)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 136/138 ページ： 204-208 発行年： 1998年03月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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