文献
J-GLOBAL ID:200902152269464450
整理番号:00A1007611
(Ba,Sr)TiO3膜の堆積に及ぼす化学気相成長用原料分子の気相熱分解の影響
Effects of Gas-Phase Thermal Decompositions of Chemical Vapor Deposition Source Molecules on the Deposition of (Ba, Sr)TiO3 Films. A Study by In Situ Fourier Transform Infared Spectroscopy.
著者 (3件):
MOMOSE S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NAKAMURA T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TACHIBANA K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
39
号:
9B
ページ:
5384-5388
発行年:
2000年09月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)