文献
J-GLOBAL ID:200902152297571628
整理番号:01A0157110
ステップ及びフラッシュインプリントリソグラフィー テンプレートの表面処理と欠陥解析
Step and flash imprint lithography: Template surface treatment and defect analysis.
著者 (7件):
BAILEY T
(Univ. Texas at Austin, Texas)
,
CHOI B J
(Univ. Texas at Austin, Texas)
,
COLBURN M
(Univ. Texas at Austin, Texas)
,
MEISSL M
(Univ. Texas at Austin, Texas)
,
SHAYA S
(Univ. Texas at Austin, Texas)
,
EKERDT J G
(Univ. Texas at Austin, Texas)
,
SREENIVASAN S V
(Univ. Texas at Austin, Texas)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
18
号:
6
ページ:
3572-3577
発行年:
2000年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)