文献
J-GLOBAL ID:200902152520678332
整理番号:93A0912372
ネオン,アルゴン,クリプトンおよびキセノン放電でのマグネトロンスパッタ蒸着条件の比較
Comparison of magnetron sputter deposition conditions in neon, argon, krypton, and xenon discharges.
著者 (4件):
PETROV I
(Inst. Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, Sofia, BGR)
,
IVANOV I
(Inst. Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, Sofia, BGR)
,
ORLINOV V
(Inst. Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, Sofia, BGR)
,
SUNDGREN J-E
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
11
号:
5
ページ:
2733-2741
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)