文献
J-GLOBAL ID:200902152647843448
整理番号:95A0449281
モリブデンヘキサカルボニルと酸素からの酸化モリブデンの低圧化学蒸着
Low pressure chemical vapor deposition of molybdenum oxides from molybdenum hexacarbonyl and oxygen.
著者 (2件):
CROSS J S
(Iowa State Univ., IA, USA)
,
SCHRADER G L
(Iowa State Univ., IA, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
259
号:
1
ページ:
5-13
発行年:
1995年04月01日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)