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文献
J-GLOBAL ID：200902152703318971
整理番号：02A0726774
異方性エッチングを用いた生体電位計測のための多層構造型マイクロプローブの開発
Development of Silicon Microprobe with Multilayer Circuitry for Multi-site Neural Recording using Anisotropic Etching.
川島貴弘
(北大)
,
横井浩史
(北大 大学院工学研究科)
,
柴田隆行
(茨城大 工)
,
牧野英司
(弘前大 理工)
,
嘉数ゆき昇
(北大 大学院工学研究科)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 68 号： 9 ページ： 1185-1189 発行年： 2002年09月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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