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文献
J-GLOBAL ID：200902152778582976
整理番号：00A0371916
炭化けい素の物理的蒸気輸送における熱分解キャビティの形成
Formation of Thermal Decomposition Cavities in Physical Vapor Transport of Silicon Carbide.
SANCHEZ E K
(Carnegie Mellon Univ., PA)
,
KUHR T
(Carnegie Mellon Univ., PA)
,
HEYDEMANN V D
(II-VI Inc., PA)
,
SNYDER D W
(II-VI Inc., PA)
,
ROHRER G S
(Carnegie Mellon Univ., PA)
,
SKOWRONSKI M
(Carnegie Mellon Univ., PA)
資料名：
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻： 29 号： 3 ページ： 347-352 発行年： 2000年03月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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