文献
J-GLOBAL ID:200902152889096418
整理番号:96A0682893
1nm台の原子間力顕微鏡における高さスケールをキャリブレーションするための標準手続き
Standardized procedure for calibrating height scales in atomic force microscopy on the order of 1nm.
著者 (9件):
SUZUKI M
(NTT Interdisciplinary Res. Lab., Kanagawa, JPN)
,
AOYAMA S
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
KELLY A J
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
,
NAKANO A
(Sharp Corp., Nara, JPN)
,
SAKAKIBARA Y
(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)
,
SUZUKI Y
(Canon Inc., Kanagawa, JPN)
,
TAKAMI H
(Toyo Corp., Tokyo, JPN)
,
TAKENOBU T
(Olympus Optical Co. Ltd., Tokyo, JPN)
,
YASUTAKE M
(Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
14
号:
3 Pt 1
ページ:
1228-1232
発行年:
1996年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)