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文献
J-GLOBAL ID：200902152920609801
整理番号：99A0245614
Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3厚膜マイクロアクチュエータ実現のための堆積法とパターニング法
Deposition and Patterning Technique for Realization of Pb(Zr0.52, Ti0.48)O3 Thick Film Micro Actuator.
MAEDA R
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
WANG Z
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
CHU J
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
AKEDO J
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
ICHIKI M
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
YONEKUBO S
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 12B ページ： 7116-7119 発行年： 1998年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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