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文献
J-GLOBAL ID：200902153251144985
整理番号：95A0049757
イオン注入装置 ハイコストパフォーマンス8インチ対応中電流イオン注入装置“NH-20SR8”
Ion Implantation System. 8-inch Compatible Non Parallel Type Medium Current lon Implanter NH-20 SR 8 with High Cost-performance.
前田尚志
(日新電機)
,
塩尻史郎
(日新電機)
,
吉備康浩
(日新電機)
,
高岡邦文
(日新電機)
,
新山哲男
(日新電機)
,
妹尾和洋
(日新電機)
,
田村喜生
(日新電機)
資料名：
日新電機技報
(Nissin Electric Review)
巻： 39 号： 3 ページ： 19-23 発行年： 1994年11月
JST資料番号： S0817B ISSN： 0549-5377 CODEN： NIDGA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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