文献
J-GLOBAL ID:200902153534110548
整理番号:93A0510566
Profile characteristics of excimer laser micromachined features.
著者 (3件):
TABAT M
(Resonetics, Inc., New Hampshire)
,
O’KEEFFE T R
(Resonetics, Inc., New Hampshire)
,
HO W
(Resonetics, Inc., New Hampshire)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1835
ページ:
144-157
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)