文献
J-GLOBAL ID:200902153540320929
整理番号:93A0503806
金属-酸化物-半導体電子トンネル陰極の放出特性
Emission characteristics of metal-oxide-semiconductor electron tunneling cathode.
著者 (5件):
YOKOO K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TANAKA H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SATO S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MUROTA J
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ONO S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
11
号:
2
ページ:
429-432
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)