文献
J-GLOBAL ID:200902153571958328
整理番号:93A0473032
高周波スパッタしたTiN皮膜の疲れ性能とトライボロジー性
Fatigue performance and tribological properties of r.f. sputtered TiN coatings.
著者 (4件):
HERR W
(Technical Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
MATTHES B
(Technical Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
BROSZEIT E
(Technical Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
KLOOS K H
(Technical Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
57
号:
1
ページ:
43-46
発行年:
1993年04月23日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)